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sci-6.2-Effect of peak current on the microstructure, mechanical properties and tribological behavior of MoxN coatings deposited by high power impulse magnetron sputtering

來源: 華匯儀器作者: 管理員時間: 2024-08-01 點擊: 555 次

sci-6.2-Effect of peak current on the microstructure, mechanical properties and tribological behavior of MoxN coatings deposited by high power impulse magnetron sputtering.pdf

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